等离子处理效果
等离子测试:孔内除胶
高TG、高孔径比孔内除胶后清洗效果
等离子测试:激光孔内除炭黑
机台名称 | 等离子清洗机( Plasma)(极板活动式) |
机台型号 | KME-SP100L-A |
机合规格 | 极板活动式8层 |
外形尺寸 | 长*宽*高=800*1650*1750 腔体不锈钢304 |
结构组成 | 真空发生系统、人机界面、电气控制系统、真空腔体、等离子发生器等几部分 |
电源系统 | 13.56MHz等离子体发生源 |
控制系统 | 触摸屏+PLC自动控制 |
进气系统 | 2-4路工作气体可选:Ar、N2、H2、压缩空气 |